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單晶爐

文章出處:英智科技 人氣:发表时间:2017-10-27 15:42
單晶爐是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

滑环在單晶爐上的应用,滑环
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